CVD烧结管式电阻炉
一、CVD烧结管式电阻炉概述
CVD烧结管式电阻炉主要应用于高等院校、工矿企业等实验和小批量生产之用。主要用于粉体、电子、陶瓷等其它产品的预烧、烧结、镀膜、高温热解低温沉积(CVD)工艺等。
二、CVD烧结管式电阻炉特点
1、炉膛材料采用陶瓷纤维,呈现温场均衡、表面温度低、升温速率快、节能等优点;
2、电热元件采用高电阻合金丝,表面负荷高,发热速度快;
3、炉体两端采用不锈钢密封法兰,耐高温、耐腐蚀;
4、保护管采用高纯石英管 ,气管采用密封快接插头,安装方便;
5、炉体采用双层空气隔热技术,配有自动冷却风扇,降低炉体外壳温度;
6、控制系统采用40段程序控温,控温精度±1℃,移相触发、可控硅控制。
三、CVD烧结管式电阻炉参数
项目 |
指标值 |
额定功率 |
4KW |
额定电压 |
AC220V 50/60Hz |
高温度 |
1600℃ |
额定温度 |
1500℃ |
升温速率 |
≤10 ℃/min |
炉管尺寸 |
Dia 80 X 1000 mm |
控温精度 |
±1℃ |
控温方式 |
32段程序 PID程序控温
(日本进口) |
热电偶型号 |
B型 |
加热元件 |
硅钼棒 |
炉管材料 |
99刚玉 |
重量 |
约120 Kg |
炉膛材料 |
氧化铝多晶体纤维 氧化铝含量95% (真空成型) 美国进口 |
炉壳表面温度 |
≤35 ℃ |